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IEDA2000离子能量分析仪

IEDA2000离子能量分析仪（Ion Energy Distribution Analyzer）是基于阻滞势分析仪（RPA）原理开发的高精度诊断设备，用于精确测量等离子体中离子能量分布函数（IEDF/IVDF）。该产品采用经典的四栅网结构设计——悬浮栅（G1）、电子排斥栅（G2）、离子阻滞栅（G3）、二次电子排斥栅（G4），通过向阻滞栅施加扫描电压，逐级滤除低能离子，由收集极获取不同阻滞电压下的离子电流，最终经I-V曲线微分处理获得离子能量分布数据。

核心性能指标：

· 探头结构：IEDA2000离子能量分析仪的探头有多种规格，一个探头盘中可含1~19个探头数量，兼容6~12英寸机台，多栅探头结构。悬浮栅（G1）衰减离子通量，电子排斥栅（G2）滤除电子，离子阻滞栅（G3）施加0–2000V扫描电压，二次电子排斥栅（G4）抑制收集极二次电子发射，确保测量准确性

 ·离子能量测量范围：0–2000 eV，覆盖从低能等离子体到高能电推进羽流的诊断需求

· 离子能量分辨率：0.1 eV
· 离子通量测量范围：0.001–20 mA/cm²，适配宽动态范围的等离子体环境

· 高精度电流采集：nA级至mA级宽量程自动切换，确保低密度至高密度等离子体的精确测量
· 智能化测控软件：支持I-V曲线实时显示、自动微分生成IEDF/IVDF曲线、能量峰值平均值自动分析，一键导出数据报告


多规格离子能量分析探头阵列