从朗缪尔探针系列、离子能量分析仪系列到电推束流分析仪系列的全系列全方案等离子体诊断工具，精准测量等离子体关键参数。

离子能量分析仪系列



精准获取到达表面离子能量分布（IEDF），支持刻蚀、沉积、溅射等工艺的能谱分析，具有高分辨率与宽能量范围。
核心产品
实专用于电推力气束流分析，测量离子能量分布、束流密度、发散角等，配合多通道扫描技术，助力推力器推力评估与寿命验证。

朗缪尔探针系列



实时精准测量等离子体密度、电子温度、电子能量分布函数（EEDF）等关键参数，适用于工艺腔体诊断，响应快、抗污染能力强。

电推进束流分析仪系列



等离子体化学气相沉积PECVD
同步检测沉积过程的离子通量与能量，调控薄膜致密度与应力。朗缪尔探针与能量分析仪组合，为低温高质量成膜提供数据支撑。
等离子体清洗

精准检测清洗工艺中的等离子体参数，确保纳米级洁净度。朗缪尔探针实时反馈密度与均匀性，确保清洗。

空间电推进

测量推力器出口的束流密度、发散角及离子能量分布，评估推力与寿命。电推进束流分析仪与朗缪尔探针联用，覆盖羽流区全参数诊断。

典型应用
覆盖半导体、航天及制造关键工艺，深入应用现场，为等离子体工艺优化与装备研发提供精准诊断核心数据。
溅射沉积 (PVD)

精评估到达基板的离子能量与通量分布，优化各溅射与附着力。结合朗缪尔探针诊断离子状态，提升膜层均匀性与重复性。

反应性离子刻蚀（RIE）

精准测量轰击晶圆的离子能量分布，优化刻蚀各项异性。离子能量分析仪可帮助控制侧壁形貌与选择比，提升图形转移精度。