等离子体诊断-等离子体密度传感器—

首页

》

SLP-PRO 朗缪尔单探针系统

IEDA2000离子能量分析仪

束流发散角系统

公司专注于等离子体诊断与发生领域，核心产品涵盖朗缪尔探针、离子能量分析仪、电推束流分析仪、及等离子体源四大系列，形成从参数测量、离子能量解析到等离子体发生源的完整矩阵。产品高度具备精度、高可靠性及强抗干扰能力，支持定制化服务，广泛应用于科研院所、高校及高端制造领域。

离子能量分析仪系列

朗缪尔探针系统多通道版，可实时精准监测等离子体密度、电子温度、电子能量分布函数（EEDF）等关键参数的均匀性。

精准获取到达表面离子能量分布（IEDF），支持刻蚀、沉积、溅射等工艺的能谱分析，具有高分辨率与宽能量范围。

核心产品

专用于电推力气束流分析，测量离子能量分布、束流密度、发散角等，配合多通道扫描技术，助力推力器推力评估与寿命验证。

朗缪尔单探针系统

实时精准测量等离子体密度、电子温度、电子能量分布函数（EEDF）等关键参数，适用于工艺腔体诊断，响应快、抗污染能力强。

电推进束流分析仪系列

技术参数：15-19通道，-150V~+150V，

±1 μA ~ ±100 mA , ne 1E6 ~ 1E13 cm-3,

Te 0.1 ~ 10 eV

朗缪尔探针阵列

等离子体密度传感器

小型传感器，实时精准测量等离子体密度关键参数，适用于工艺腔体诊断，可以检测设备的重复性，成本可控。

技术参数：电压 -380V~+380V , 电流 ±1 μA ~ ±200 mA , ne 1E6 ~ 1E14 cm-3 , Te 0.1 ~ 10 eV , 探针耐温350℃

技术参数：离子能量0 ~ 2000 eV , 分辨率0.5 eV , 离子电流密度0.1μA ~ 7mA/mm2,气压<40 Pa

技术参数：

技术参数：ne 1E9 ~ 1E12 cm-3，KF25真空法兰，RS485通讯 , DC12V供电，功耗< 5 W

此网站建设系统是一种全新的互联网应用模式，它一改过去传统的企业建站方式，不需企业编写任何程序或网页，无需学习任何相关语言，也不需第三方代写或管理网站，只需应用系统所提供的各种强大丰富的功能模块，即可轻松建成企业个性化的精美网站。该系统能让用户在短时间内迅速架设属于自己公司的企业网站。系统易学易懂，用户只需会上网、不需学习编程及任何语言，只要使用该系统平台，只要会打字，即可在线直接完成建站所有工作。