水木仪器的核心技术，源于清华大学工程物理系等离子体实室。在早期科研攻关中，我们发现，市面通用的诊断设备都是进口的，不仅价格高昂、响应速度慢、维护困难，且难适应我国技术发展战略。

为此我们组建了一支由等离子体物理、精密仪器学科跨背景的团队。经过近十年的专注研发，如今形成了朗缪尔探针系列、离子能量分析仪、电推羽流发散角测试仪三大系列矩阵。我们的系统专注于为半导体反应性离子刻蚀（RIE）、溅射沉积 (PVD)、等离子体化学气相沉积 (PECVD)、等离子体清洗、空间电推进及等离子源研发，实现等离子体密度、温度、离子能量分布、均匀性测量，离子能量与束流特性解析，为工艺优化提供精准的数据支撑。

三大系列自

研产品矩阵

等离子体诊断

领域经验至今

累计交付产品

超过200套