微型一体化等离子体密度实时监测方案

      等离子体密度传感器是一款紧凑型、一体化的等离子体诊断设备，外形尺寸小型，专为狭小空间和受限腔体内的等离子体密度实时监测而设计，成本可控。

      与传统朗缪尔探针相比，该传感器在小型化的同时保留了可靠的诊断能力，适用于半导体工艺腔室、空间等离子体探测、推进器羽流诊断等对传感器尺寸有严格要求的应用场景。其原理基于高频探针或浮动探针技术，通过测量探针与等离子体之间的耦合响应来反演电子密度，测量范围覆盖10⁸~10¹² cm⁻³，且探针尖端受沉积污染的影响远小于传统单探针，在反应性气体和沉积性等离子体中仍能稳定工作。