SLP-PRO 朗缪尔单探针系统

  该系统指标符合业界公认的等离子体诊断技术标准，可快速表征等离子体状态，精准测量电子密度、电子温度、电子能量分布函（EEDF）、位等关键参数。

核心测量参数与范围：

 ● 电子密度ne ：10⁶ ~ 10¹⁴cm^-3

 ● 电子温度Te :  0.1 ~ 20 eV

 ● 电子能量分布函数EEDF : 0 ~ 100 eV

朗缪尔探针诊断原理

朗缪尔单探针系统是用于等离子体参数原位内诊断的基础测量

设备。系统采用金属探针深入等离子体内，通过扫描偏置电压，

并采集对应的电流电压（I-V）特性曲线，再经过算法拟合获得关

键等离子体数。