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SLP-PRO 朗缪尔单探针系统

       SLP-Pro 朗缪尔单探针系统兼容大部分厂商的RIE、 PECVD、ALD、
PVD、等离子体清洗等工艺环境的通用型等离子体测量设备，为设备参数优化提供良好的解决方案。

  该系统指标符合业界公认的等离子体诊断技术标准，可快速表征等离子体状态，精准测量电子密度、电子温度、电子能量分布函（EEDF）、位等关键参数。


核心测量参数与范围：

 ● 电子密度ne ：106 ~ 1014cm-3

 ● 电子温度Te :  0.1 ~ 20 eV

 ● 电子能量分布函数EEDF : 0 ~ 100 eV

 ● 等离子体电位 Vp  : -350 ~ +350V
 ● 悬浮电位  Vf  : -350 ~ +350V


产品特性

●  系统兼容性：可兼容大多数等离子体放电条件   • 直流 / 微波等离子体    • RF ICP / CCP  • CW / 脉冲 等离子体

●  射频滤波：高衰减射频滤波，射频补偿多达5个频率在一个探头
●  射频补偿：主动补偿探针感应的射频电位
●  自动风冷气冷：智能温控，保障探针尖长时间连续运行时的热稳定性
●  自动针尖清洁：通过程控高压脉冲原位清洁探针污染物，减少手动维护频次，保持长期测量的一致性

                               • 直流 / 微波等离子体    • RF ICP / CCP  • CW / 脉冲 等离子体




常见问题


Q: 朗缪尔探针理论门槛高吗？软件能自动处理吗？

A: 软件内置自动拟合算法，用户无需深入了解理论即可获得可靠结果。

Q: 在RF等离子体中如何使用？
A：设备配备了射频滤波、RF补偿模块，适用于13.56 MHz及更多高频种类的等离子体。

Q：探针会被污染吗？如何清洁？
A：探针使用会有沉积，系统具有自动清洁功能。

Q: 探针尖可以更换吗？
A：探针尖可以更换，并且探针尖是插拔式安装的，更换方式很简便。

Q: 与国外品牌（如Impedans、Hiden）相比如何？
A：性能相当，价格更优，国产高端技术，自主可控，并且本地技术支持响应迅速。